|
刻鍍一體機(jī)
收藏
設(shè)備名稱：刻鍍一體機(jī) 可加工材料：各種金屬、合金、非金屬、氧化物、氮化物、陶瓷、紅外和超導(dǎo)，磁學(xué)，LED等前沿領(lǐng)域。 核心參數(shù) 主源/輔源類型：考夫曼離子源 樣品臺(tái)：3～8英寸，面內(nèi)旋轉(zhuǎn) 靶臺(tái)：3～4靶 高真空系統(tǒng)：前級(jí)泵＋分子泵 工藝氣路：1-3路 均勻性：≤±5% 全自動(dòng)＋半自動(dòng)控制；支持單工藝和多工藝組、操作記錄、運(yùn)行記錄、故障診斷、報(bào)警等功能。 可選配：0ES終點(diǎn)檢測(cè)/膜厚儀。 |
